最常用的金属膜制备方法有（）加热蒸发、（）蒸发、（）。_半导体芯片制造高级工_全学科试题题库

当前学科：半导体芯片制造高级工

题目：填空题
最常用的金属膜制备方法有（）加热蒸发、（）蒸发、（）。
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