当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    静电释放带来的问题有哪些()。

      A . 金属电迁移
      B . 金属尖刺现象
      C . 芯片产生超过1A的峰值电流
      D . 栅氧化层击穿
      E . 吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面

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