立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所，它由垂直的（）、（）和（）组成。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：填空题
立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所，它由垂直的（）、（）和（）组成。
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