在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。
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