RNA聚合酶III启动子的特点是它们通常位于基因内部。已经发现了两种类型的聚合酶III内部启动子。第一种类型通常发现于（）基因中，它包含两个称为A盒和C盒的保守序列。转录因子（）结合于C盒上并能吸引（）因子。另一种类型的聚合酶III启动子是上游启动子，它发现于一些编码（）的基因上。这些启动子可能具有PSE，OCT元件和（）框。因为（）框已经足以起始转录，所以当有其他元件存在，转录的效率就提高了。