当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 单选
    离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成()离子,并通过一个引出系统形成离子束。

      A . 正
      B . 负
      C . 中性
      D . 以上答案都可以

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