离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。
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