当前学科:太阳能光伏发电技术
  • 题目: 单选
    下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是()。

      A . A.4HF+Si=SiF4+2H2
      B . B.CF4+SiO2——→SiF4+CO2
      C . C.CF4+SiO2+O2——→SiF4+CO2
      D . D.SiO2+4HF——→SiF4+2H2O

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