在靶片前方设一抑制栅，作用是将（）抑制回去，从而保证测量的准确性。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
在靶片前方设一抑制栅，作用是将（）抑制回去，从而保证测量的准确性。
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