如图为一阶梯轴简图，图上部的轴向尺寸Z1、Z2、Z3、Z4、Z5、Z6为设计尺寸。编程原点为左端面与中心线的交点，编程时须按图下部的工序尺寸Z1’、Z2’、Z3’、Z4’、Z5’、Z6’编程。那么工序尺寸Z3’及其公差应该为（）