某大型水库枢纽工程，总库容为5.84*108m³ ，水库枢纽主要由主坝、副坝、溢洪道、电站及输水洞组成。输水洞位于主坝右岸山体内，长275.0m，洞径4.0m，设计输水流量为34.5m³/s。该枢纽工程在施工过程中发生如下事件：
事件1：主坝帷幕由三排灌浆孔组成，分别为上游排孔、中间排孔、下游排孔，各排孔均按二序进行灌浆施工；主坝帷幕后布置排水孔和扬压力观测孔。施工单位计划安排排水孔和扬压力观测孔与帷幕灌浆同期施工。
事件2：输水洞布置在主坝防渗范围之内，洞内采用现浇混凝土衬砌，衬砌厚度为0.5m。根据设计方案，输水洞采取了帷幕灌浆、固结灌浆和回填灌浆的综合措施。
事件3：输水洞开挖采用爆破法施工，施工分甲、乙两组从输水洞两端相向进行当两个开挖工作面相距25m，乙组爆破时，甲组在进行出渣作业：当两个开挖工作面相距10m，甲组爆破时，导致乙组正在作业的3名工人死亡。事故发生后，现场有关人员立即向本单位负责人进行了电话报告。
【问题】

指出事件2中帷幕灌浆、固结灌浆和回填灌浆施工的先后顺序。回填灌浆在衬砌混凝土强度达到设计强度的多少后进行？