He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm²/s，这些元素称为（）。
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