A0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm
B0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1μm
C0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm
D0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1μm、5μm
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