离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是（）和（）。_半导体芯片制造高级工_全学科试题题库

当前学科：半导体芯片制造高级工

题目：填空题
离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是（）和（）。
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