与APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能，因此应用更为广泛。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
与APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能，因此应用更为广泛。
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