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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。
A . 热空气对流法
B . 真空热平板传导法
C . 红外线辐射法
D . 射频感应加热法
答案：
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