当前学科:电化学工程
  • 题目: 多选
    影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。

      A . 等离子体蚀刻系统的形态
      B . 等离子体蚀刻的参数
      C . 光刻胶
      D . 待蚀刻薄膜的淀积参数条件

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