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当前学科:电化学工程
题目:
多选
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。
A . 等离子体蚀刻系统的形态
B . 等离子体蚀刻的参数
C . 光刻胶
D . 待蚀刻薄膜的淀积参数条件
答案:
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