当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    二氧化硅膜的质量要求有()。

      A . 薄膜表面无斑点
      B . 薄膜中的带电离子含量符合要求
      C . 薄膜表面无针孔
      D . 薄膜的厚度达到规定指标
      E . 薄膜厚度均匀,结构致密

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