离子注入是借其（）强行进入靶材料中的一个（）物理过程。_半导体芯片制造中级工_全学科试题题库

当前学科：半导体芯片制造中级工

题目：填空题
离子注入是借其（）强行进入靶材料中的一个（）物理过程。
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