当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    在半导体工艺中,淀积的薄膜层应满足的参数包含有()。

      A . 均匀性
      B . 表面平整度
      C . 自由应力
      D . 纯净度
      E . 电容

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