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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
多选
微电子领域内,下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为()。
A . 台阶仪
B . 干涉显微镜
C . 光切显微镜
D . 扫描电镜
E . 椭偏仪
答案:
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