当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    微电子领域内,下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为()。

      A . 台阶仪
      B . 干涉显微镜
      C . 光切显微镜
      D . 扫描电镜
      E . 椭偏仪

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