平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。
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