硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。
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