离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
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