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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。
A . 降低
B . 增加
C . 不变
D . 先降低后增加
答案：
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