按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：（）蒸发、（）蒸发、离子束蒸发等。_半导体芯片制造中级工_全学科试题题库

当前学科：半导体芯片制造中级工

题目：多选
按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：（）蒸发、（）蒸发、离子束蒸发等。
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