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当前学科:半导体芯片制造中级工
题目:
多选
按蒸发源加热方法的不同,真空蒸发工艺可分为:()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。
A . 电阻加热
B . 电子束
C . 蒸气原子
答案:
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