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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。
A . 推挤扩散
B . 杂质扩散
C . 填隙扩散
D . 自扩散
答案：
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