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当前学科：电化学工程
题目：
多选
干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。
A . 离子、电子
B . 中性原子
C . 分子
D . 自由基
答案：
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