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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
多选
净化室将硅片制造设备与外部环境隔离,免受诸如()的沾污。
A . 颗粒
B . 金属
C . 有机分子
D . 静电释放(ESD)
E . 水
答案:
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