对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。
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