以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。_半导体制造技术_全学科试题题库

当前学科：半导体制造技术

题目：问答题
以P₂O₅为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
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