当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    干氧氧化法具备以下一系列的优点()。

      A . 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
      B . 生长的二氧化硅干燥
      C . 生长的二氧化硅结构致密
      D . 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
      E . 生长的二氧化硅掩蔽能力强

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