当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    二氧化硅薄膜厚度的测量方法有()。

      A . 比色法
      B . 双光干涉法
      C . 椭圆偏振光法
      D . 腐蚀法
      E . 电容-电压法

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