A . 目前特种加工中最精密、最微细的加工B . 离子撞击工件表面，将机械能转换成热能，使工件表面融化、气化去除材料C . 加工在高真空中进行，污染少，特别适于易氧化金属加工D . 靠离子轰击材料表面原子进行加工，加工应力和变形极小
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