当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    关于正胶和负胶的特点,下列说法正确的是()。

      A . 正胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率高于负胶
      B . 正胶的感光区域在显影时不溶解,负胶的感光区域在显影时溶解
      C . 负胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率不会降低
      D . 正胶的感光区域在显影时溶解,负胶的感光区域在显影时不溶解
      E . 负胶在显影时会发生膨胀,导致了分辨率的降低

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