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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
多选
下列哪些因素会影响临界注入量的大小:()。
A . 注入离子的质量
B . 靶的种类
C . 注入温度
D . 注入速度
E . 注入剂量
答案:
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