在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）。
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