如果淀积的膜在台阶上过度地变薄，就容易导致高的（）、（）或者在器件中产生不希望的（）。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：填空题
如果淀积的膜在台阶上过度地变薄，就容易导致高的（）、（）或者在器件中产生不希望的（）。
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