什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。_半导体材料_全学科试题题库

当前学科：半导体材料

题目：问答题
什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。
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