溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。_半导体芯片制造高级工_全学科试题题库

当前学科：半导体芯片制造高级工

题目：单选
溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。
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