A . 通过微细加工技术及微机械加工技术在半导体基板上制作的微型电子机械装置B . 在微电子学中衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度是特征尺寸C . 特征尺寸为1μm~10mm为小型机构D . 特征尺寸为1nm~10μm为纳米机械
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