当前学科:仪器制造技术
  • 题目: 单选
    光刻加工的工艺过程为:()

      A . ①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
      B . ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
      C . ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

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