半导体集成电路生产中，元件之间隔离有（）（）（）隔离等三种基本方法._半导体芯片制造高级工_全学科试题题库

当前学科：半导体芯片制造高级工

题目：填空题
半导体集成电路生产中，元件之间隔离有（）（）（）隔离等三种基本方法.
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