蒸发最大的缺点是不能产生均匀的台阶覆盖，但是可以比较容易的调整淀积合金的组分。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
蒸发最大的缺点是不能产生均匀的台阶覆盖，但是可以比较容易的调整淀积合金的组分。
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