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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
多选
按曝光的光源分类,曝光可以分为()。
A . 光学曝光
B . 离子束曝光
C . 接近式曝光
D . 电子束曝光
E . 投影式曝光
答案:
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