当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    按曝光的光源分类,曝光可以分为()。

      A . 光学曝光
      B . 离子束曝光
      C . 接近式曝光
      D . 电子束曝光
      E . 投影式曝光

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