当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    下列可作为磷扩散源的是()。

      A . 磷钙玻璃
      B . 三氯氧磷
      C . 三氯化磷
      D . 磷烷
      E . 掺磷二氧化硅乳胶源

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