在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。_半导体制造技术_全学科试题题库

当前学科：半导体制造技术

题目：问答题
在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。
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