当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    薄膜沉积的机构包括那些步骤()。

      A . 形成晶核
      B . 晶粒成长
      C . 晶粒凝结
      D . 缝道填补
      E . 沉积膜成长

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