当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。

      A . 低电阻率
      B . 易与p或n型硅形成欧姆接触
      C . 可与硅或二氧化硅反应
      D . 易于光刻
      E . 便于进行键合

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