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常见问题
当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
多选
为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。
A . 低电阻率
B . 易与p或n型硅形成欧姆接触
C . 可与硅或二氧化硅反应
D . 易于光刻
E . 便于进行键合
答案：
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