A . 投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高
B . 接触式的分辨率优于接近式
C . 接近式的分辨率受到衍射的影响
D . 投影式曝光系统中不会产生衍射现象
E . 投影式曝光是目前采用的主要曝光系统