有光刻胶覆盖硅片的三个生产区域分别为光刻区、刻蚀区和扩散区。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
有光刻胶覆盖硅片的三个生产区域分别为光刻区、刻蚀区和扩散区。
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